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近日,凯世通低能大束流离子注入机于重点客户的产线之上取得重大突破,其产品片单日产能(24小时)在突破2400片大关后,快速突破至3200片,顺利实现了国产离子注入机在先进芯片产线量产的里程碑式跨越。
(文章来源:人民财讯)
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