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SK海力士宣布,已将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机(High NA EUV)引进韩国利川M16工厂。该设备与现有的EUV设备(NA 0.33)相比,其光学性能提升了40%,这一改进使其能够制作出精密度高达1.7倍的电路图案,并将集成度提升2.9倍。
(文章来源:科创板日报)
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